掩膜版又稱光罩、光掩膜、光刻掩膜版、掩模等，是微電子制造過程中的圖形轉(zhuǎn)移工具或母版，屬光刻工藝中的關(guān)鍵耗材，在生產(chǎn)中起到承上啟下的關(guān)鍵作用，是產(chǎn)業(yè)鏈中不可或缺的重要環(huán)節(jié)。近年來，隨著下游應(yīng)用的快速發(fā)展，我國掩膜版市場持續(xù)增長，掩膜版技術(shù)水平、生產(chǎn)能力、產(chǎn)品種類都取得了明顯進(jìn)步，但新型顯示與半導(dǎo)體用部分中高端產(chǎn)品仍高度依賴進(jìn)口，掩膜版生產(chǎn)上游關(guān)鍵原材料多個(gè)產(chǎn)品仍存短板。在復(fù)雜的國際環(huán)境下，國內(nèi)新型顯示與半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展面臨諸多挑戰(zhàn)，增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)鏈供應(yīng)鏈自主可控與降本提質(zhì)已成為行業(yè)發(fā)展的重要目標(biāo)任務(wù)。
為加快國內(nèi)新型顯示與半導(dǎo)體用中高端掩膜版及關(guān)鍵原材料關(guān)鍵核心技術(shù)突破，優(yōu)化現(xiàn)有材料性能，推動(dòng)新產(chǎn)品系列化發(fā)展，增強(qiáng)產(chǎn)業(yè)鏈協(xié)同創(chuàng)新，由電子化工新材料產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟聯(lián)合中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)石英材料分會(huì)共同主辦，成都路維光電有限公司承辦的“新型顯示和半導(dǎo)體用掩膜版及關(guān)鍵原材料技術(shù)交流會(huì)”于2023年11月30日在成都成功舉辦。會(huì)議由中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)常務(wù)副秘書長、電子化工新材料產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟秘書長魯瑾主持。
成都路維光電科技有限公司總經(jīng)理陳俊榮參加大會(huì)并致辭。他指出，掩膜版作為連接工業(yè)設(shè)計(jì)與工藝制造的關(guān)鍵，其精度與質(zhì)量直接關(guān)乎下游產(chǎn)品的良品率。全球市場來看，新型顯示用掩膜版，中國大陸已占有部分市場份額，但上游石英仍處日韓廠商壟斷狀態(tài)，亟需加速攻關(guān)，需要產(chǎn)業(yè)上下協(xié)作，共同攻克。他表示，路維光電將攜手上下游企業(yè)，立足新型顯示與半導(dǎo)體兩大領(lǐng)域，持續(xù)加大投入，加強(qiáng)合作，不斷提升產(chǎn)品精度與品質(zhì)，推動(dòng)行業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。
主旨演講環(huán)節(jié)，深圳市路維光電股份有限公司研發(fā)總監(jiān)司繼偉、江蘇亨芯石英科技有限公司首席技術(shù)官肖華、安徽禾臣新材料有限公司董事長兼總經(jīng)理李加海分別從掩膜版、石英基材及空白掩膜版等不同角度做了分享。
深圳市路維光電股份有限公司研發(fā)總監(jiān)司繼偉在題為《半導(dǎo)體和顯示面板用掩膜版的現(xiàn)狀、技術(shù)與市場需求》中，詳細(xì)介紹了掩膜版及其應(yīng)用，掩膜版的種類和特征，掩膜版的制造，掩膜版上游供應(yīng)情況，對(duì)空白掩膜版的要求以及市場需求和建議。
江蘇亨芯石英科技有限公司首席技術(shù)官肖華在題為《光掩模石英基材的技術(shù)挑戰(zhàn)》中指出，石英基材產(chǎn)品技術(shù)門檻高，研發(fā)周期長，面臨高透過率、高均勻性、極低應(yīng)力雙折射、大尺寸低成本、照射耐久性等多個(gè)挑戰(zhàn)，并給出了相關(guān)的開發(fā)方案。
安徽禾臣新材料有限公司董事長兼總經(jīng)理李加海在題為《禾臣新材料空白掩膜版項(xiàng)目現(xiàn)狀與規(guī)劃》中，重點(diǎn)介紹了安徽禾臣項(xiàng)目進(jìn)展，產(chǎn)品布局，產(chǎn)能分布，未來發(fā)展等。
研討交流環(huán)節(jié)，與會(huì)各代表暢所欲言，就各自公司情況做了介紹，并就掩膜版及關(guān)鍵原材料發(fā)展存在的問題給出了各自觀點(diǎn)，紛紛獻(xiàn)言獻(xiàn)策，研提解決方案，氣氛熱烈。
本次會(huì)議，北京京東方顯示技術(shù)有限公司、TCL華星光電技術(shù)有限公司、深圳市路維光電股份有限公司、成都路維光電有限公司、江蘇亨芯石英科技有限公司、安徽禾臣新材料有限公司、長沙韶光芯材科技有限公司、上海傳芯半導(dǎo)體有限公司、湖北菲利華石英玻璃股份有限公司、中國建材總院石英新材料所、長飛石英技術(shù)（武漢）有限公司、中天科技精密材料有限公司等上下游廠商30余位代表齊聚一堂，深度探討了新型顯示與半導(dǎo)體用掩膜版及關(guān)鍵原材料發(fā)展當(dāng)前存在的問題，分析了新格局下行業(yè)發(fā)展的新思路，深化了產(chǎn)業(yè)交流，對(duì)推動(dòng)我國掩膜版產(chǎn)業(yè)穩(wěn)步健康發(fā)展起到了良好的促進(jìn)作用。